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项目简讯|厦门某半导体企业有机废气处理项目

由我公司中标承建的厦门某半导体企业有机废气处理项目,已经顺利完成建设和调试,于2024年9月正式投入运行。该项目是我司首个半导体行业废气治理项目,由我司全面负责从设计、采购、制造到安装、调试及售后服务等各个环节,确保了整个过程的专业性和高效性。项目的顺利竣工标志着我司在环保技术领域的又一重要突破。


治理工艺

项目废气主要来源于清洗、CVD、光刻、湿法刻蚀、去胶及扩散等工艺。有机废气成分复杂,包含异丙醇、丙酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等,并含有少量高沸点物质和含硅有机物。为了有效应对上述废气问题,本项目采用“高效过滤+沸石转轮吸附+TO”工艺进行治理。本工艺废气处理效率超过95%,同时具有安全性高、运行稳定、运行成本及故障率低、自动化程度高、运行管理方便等优点。

治理效果

2024年9月有机废气净化系统开始切入使用,投入既达满产状态。设备运行稳定,处理效果良好,烟囱出口在线检测系统所测得的非甲烷总烃浓度在5~10mg/m3范围内,满足 《厦门市大气污染物排放标准》 (DB35/323-2018)中表1的排放标准。

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